熱式質量流量計是一種利用傳熱原理，即流動流體與熱源(流體中被加熱的物體或加在測量管上的發(fā)熱體)之間的熱交換關系來測量流量的儀器。目前主要用于測量氣體。

20世紀90年代初，熱式質量流量計的全球銷量約占流量計的8%，約為45000臺。90年代中期國內銷量估計在每年1000臺左右。過去，過程工業(yè)中使用的儀器主要是熱分布的，但散熱(或冷卻)效應是近年來發(fā)展起來的。

熱式質量流量計有兩種類型，熱分布流量計，它利用流動流體傳遞的熱量來改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應，稱出了熱TMF，利用散熱(冷卻)效應。另外，由于結構檢測元件伸入測量管內，所以也稱為浸入式或侵入式。一些在使用過程中從管道外部插入工藝管道的儀器稱為插入式。

熱式質量流量計可以測量低流速(氣體0.02~2m/s)下的微流量;浸沒式TMF可以測量低-中-高流速(氣體2-60m/s)，而插入式TMF更適合大管徑。

熱式質量流量計沒有運動部件，沒有分流管的熱分布儀表沒有自由流動部件，壓力損失很小;熱分布儀表和帶分流管的浸入式儀表雖然測量管中有節(jié)流片，但壓力損失很小。

熱式質量流量計的表現相對可靠。與導出的質量流量計相比，它不需要溫度傳感器、壓力傳感器和計算單元，只需要流量傳感器，組成簡單，故障概率低。

熱式質量流量計用于雙原子氣體，如H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體。不需要使用這些氣體進行特殊校準，而是直接使用空氣校準儀器。